Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния
UDC: 621.382
Issue date
1996Citation
Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния / В. Е. Гайшун [и др.] // Материалы, технологии, инструмент. –1996. – № 3. – С. 44-45.