Показать сокращенную информацию
Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния
| dc.contributor.author | Гайшун, В. Е. | |
| dc.contributor.author | Бойко, А. А. | |
| dc.contributor.author | Подденежный, Е. Н. | |
| dc.contributor.author | Мельниченко, И. М. | |
| dc.coverage.spatial | Гомель | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-11-09T07:12:37Z | |
| dc.date.available | 2023-11-09T07:12:37Z | |
| dc.date.issued | 1996 | |
| dc.identifier.citation | Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния / В. Е. Гайшун [и др.] // Материалы, технологии, инструмент. –1996. – № 3. – С. 44-45. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.gstu.by/handle/220612/29173 | |
| dc.description.abstract | Разработана промышленная технология получения порошка особо чистого диоксида кремния по золь-гель методу. Этот порошок может использоваться в качестве основного компонента полирующей суспензии для финишной обработки пластин полупроводниковых материалов. | ru_RU |
| dc.description.abstract | The industrial technology of preparation of pure silica powder by sol-gel method was developed. This powder can be used as basic component of burnishing suspension for final polishing semiconductor wafers. | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ООО "ИнфоТрибо" | ru_RU |
| dc.title | Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния | ru_RU |
| dc.title.alternative | Sol-gel method preparation of silica burnishing powder for fine polishing of monocrystal silicon wafers | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 621.382 |
