Определение влияния электростатической сепарации титан-углеродной плазмы на толщину покрытия

Abstract

Предложен способ формирования титан-углеродных покрытий из сепарированных потоков импульсной плазмы, формируемой испарением композиционного металл-углеродного катода и последующей сепарацией плазменного потока. Установлено пространственное распределение ионов в потоке углеродной плазмы на выходе из плазменного фильтра с открытой геометрией, расположенного внутри вакуумной камеры и выполненного в виде части тора, позволяющего повернуть поток плазмы на 90 градусов, что позволило установить зависимость толщины осаждаемых покрытий толщины от расстояния от оси потока.