Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния

dc.contributor.author	Гайшун, В. Е.
dc.contributor.author	Бойко, А. А.
dc.contributor.author	Подденежный, Е. Н.
dc.contributor.author	Мельниченко, И. М.
dc.coverage.spatial	Гомель	ru_RU
dc.date.accessioned	2024-05-29T08:20:57Z
dc.date.available	2024-05-29T08:20:57Z
dc.date.issued	1996
dc.identifier.citation	Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния / В. Е. Гайшун [и др.] // Материалы, технологии, инструменты. – 1996. – № 2.– С. 116–117.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://elib.gstu.by/handle/220612/35543
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Институт механики металлополимерных систем имени В. А. Белого	ru_RU
dc.subject	Золь-гель метод	ru_RU
dc.subject	Суперфинишная обработка металлов	ru_RU
dc.subject	Технология получения порошка диоксида кремния	ru_RU
dc.subject	Полирующая суспензия	ru_RU
dc.title	Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU