Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния
Библиографическое описание
Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния / В. Е. Гайшун [и др.] // Материалы, технологии, инструменты. – 1996. – № 2.– С. 116–117.