Show simple item record

Получение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния

dc.contributor.authorГайшун, В. Е.
dc.contributor.authorБойко, А. А.
dc.contributor.authorПодденежный, Е. Н.
dc.contributor.authorМельниченко, И. М.
dc.coverage.spatialГомельru_RU
dc.date.accessioned2024-05-29T08:20:57Z
dc.date.available2024-05-29T08:20:57Z
dc.date.issued1996
dc.identifier.citationПолучение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремния / В. Е. Гайшун [и др.] // Материалы, технологии, инструменты. – 1996. – № 2.– С. 116–117.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.gstu.by/handle/220612/35543
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherИнститут механики металлополимерных систем имени В. А. Белогоru_RU
dc.subjectЗоль-гель методru_RU
dc.subjectСуперфинишная обработка металловru_RU
dc.subjectТехнология получения порошка диоксида кремнияru_RU
dc.subjectПолирующая суспензияru_RU
dc.titleПолучение порошка диоксида кремния золь-гель методом для финишной полировки пластин монокристаллического кремнияru_RU
dc.typeArticleru_RU


Files in this item

Thumbnail
Name:
116-117-1.pdf
Size:
361.1Kb
Format:
PDF
Download

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record