Формирование легированных силикатных пленочных и монолитных cтруктур с использованием золь-гель технологии
Авторы
УДК: 666.266(088.8)
Дата публикации
1996Библиографическое описание
Формирование легированных силикатных пленочных и монолитных cтруктур с использованием золь-гель технологии / В. Б. Прокопенко [и др.] // Физика и технология тонкопленочных материалов : сб. науч. статей / под ред. А. В. Рогачева. – Гомель : БелГУT, 1996. – С. 90–103.