Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением

Abstract

Исследованы технологические этапы формирования мишеней MgF2 и СаF2 с помощью рентгенофазового анализа. Проведена оптимизация процесса формования пластинчатых и дисковых образцов мишеней, изготовленных из фторида кальция и магния с использованием метода полусухого прессования с последующей термообработкой заготовок при 450–750 °С.

Technological stages of the formation of MgF2 and CaF2 targets with the use of X-ray phase analysis are studied. Optimization of molding process of plane and disk fluoride sputtering target samples prepared from calcium and magnesium fluorides is provided with the use of semi-dry pressing process followed by blank thermo-treatment at 450–750 °C.