Показать сокращенную информацию

Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением

dc.contributor.authorБойко, А. А.
dc.contributor.authorДробышевская, Н. Е.
dc.contributor.authorБелый, Д. И.
dc.contributor.authorПавленок, А. В.
dc.contributor.authorПодденежный, Е. Н.
dc.date.accessioned2013-03-27T06:53:59Z
dc.date.available2013-03-27T06:53:59Z
dc.date.issued2012-09
dc.identifier.citationПодденежный, Е. Н. Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением / Е. Н. Подденежный [и др.] // Вестник ГГТУ им. П. О. Сухого: научно-практический журнал. - 2012. - № 3. - С.62-67.ru_RU
dc.identifier.issn1819-5245
dc.identifier.urihttp://elib.gstu.by/handle/220612/312
dc.description.abstractИсследованы технологические этапы формирования мишеней MgF2 и СаF2 с помощью рентгенофазового анализа. Проведена оптимизация процесса формования пластинчатых и дисковых образцов мишеней, изготовленных из фторида кальция и магния с использованием метода полусухого прессования с последующей термообработкой заготовок при 450–750 °С.
dc.description.abstractTechnological stages of the formation of MgF2 and CaF2 targets with the use of X-ray phase analysis are studied. Optimization of molding process of plane and disk fluoride sputtering target samples prepared from calcium and magnesium fluorides is provided with the use of semi-dry pressing process followed by blank thermo-treatment at 450–750 °C.
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherГГТУ им. П.О.Сухогоru_RU
dc.subjectОбработка конструкционных материаловru_RU
dc.titleКерамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнениемru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc621.791.75


Файлы, содержащиеся в ресурсе

Thumbnail
Имя:
Подденежный, Е. Н. Керамические ...
Размер:
369.2Кб
Формат:
PDF
Просмотреть/Скачать

Располагается в коллекциях:

Показать сокращенную информацию