Vacuum Sputtering Thin Film Formation Based on Inorganic Targets
| dc.contributor.advisor | AL-Kamali, M. F. S. H. | |
| dc.contributor.author | Saif, M. S. A. | |
| dc.contributor.author | Al-Shameri, Sh. A. S. N. | |
| dc.coverage.spatial | Гомель | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2024-02-08T13:34:35Z | |
| dc.date.available | 2024-02-08T13:34:35Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Saif, M. S. A. Vacuum Sputtering Thin Film Formation Based on Inorganic Targets [Электронный ресурс] / M. S. A. Saif, Sh. A. S. N. Al-Shameri ; науч. рук. M. F. S. H. AL-Kamali // МИТРо 2023 – Машиностроение. Инновации. Технологии. Робототехника : тезисы докл. науч.-техн. конф. студентов и молодых ученых / Гомель, 6 декабря 2023 г. – Гомель : ГГТУ им. П. О. Сухого, 2023. – С. 152. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.gstu.by/handle/220612/30100 | |
| dc.language.iso | en | ru_RU |
| dc.publisher | ГГТУ им. П.О. Сухого | ru_RU |
| dc.title | Vacuum Sputtering Thin Film Formation Based on Inorganic Targets | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
