Vacuum Sputtering Thin Film Formation Based on Inorganic Targets
Citation
Saif, M. S. A. Vacuum Sputtering Thin Film Formation Based on Inorganic Targets [Электронный ресурс] / M. S. A. Saif, Sh. A. S. N. Al-Shameri ; науч. рук. M. F. S. H. AL-Kamali // МИТРо 2023 – Машиностроение. Инновации. Технологии. Робототехника : тезисы докл. науч.-техн. конф. студентов и молодых ученых / Гомель, 6 декабря 2023 г. – Гомель : ГГТУ им. П. О. Сухого, 2023. – С. 152.