Распределение элементного и фазового состава по толщине токопроводящих пленок на основе дисилицида титана

Abstract

Данная статья посвящена исследованию формирования дисилицида титана с использованием БТО и распределению элементного и фазового состава по толщине токопроводящих пленок на его основе. Установлено, что на первом этапе термообработки преобладает диффузия титана в кремний, что приводит к формированию двух фаз силицидов, богатых металлом. Однако при длительной термообработке основным диффундирующим материалом становится кремний, что связано с быстрым переходом фазы Ti5Si3 в фазу TiSi и невозможностью ее зафиксировать экспериментально. Результаты исследования могут быть полезными для разработки новых методов синтеза и улучшения свойств токопроводящих пленок на основе дисилицида титана.