| dc.contributor.advisor | Петлицкий, А. Н. | |
| dc.contributor.author | Демиденко, Н. Е. | |
| dc.coverage.spatial | Гомель | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2023-11-03T11:41:36Z | |
| dc.date.available | 2023-11-03T11:41:36Z | |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Демиденко, Н. Е. Распределение элементного и фазового состава по толщине токопроводящих пленок на основе дисилицида титана / Н. Е. Демиденко ; науч. рук. А. Н. Петлицкий // Исследования и разработки в области машиностроения, энергетики и управления : материалы XXIII Междунар. науч.-техн. конф. студентов, аспирантов и молодых ученых, Гомель, 27–28 апр. 2023 г. : в 2 ч. Ч. 1 / М-во образования Респ. Беларусь, Гомел. гос. техн. ун-т им. П. О. Сухого ; под общ. ред. А. А. Бойко. – Гомель : ГГТУ им. П. О. Сухого, 2023. – С. 99-102. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.gstu.by/handle/220612/29134 | |
| dc.description.abstract | Данная статья посвящена исследованию формирования дисилицида титана с использованием БТО и распределению элементного и фазового состава по толщине токопроводящих пленок на его основе. Установлено, что на первом этапе термообработки преобладает диффузия титана в кремний, что приводит к формированию двух фаз силицидов, богатых металлом. Однако при длительной термообработке основным диффундирующим материалом становится кремний, что связано с быстрым переходом фазы Ti5Si3 в фазу TiSi и невозможностью ее зафиксировать экспериментально. Результаты исследования могут быть полезными для разработки новых методов синтеза и улучшения свойств токопроводящих пленок на основе дисилицида титана. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ГГТУ им. П.О. Сухого | ru_RU |
| dc.subject | Токопроводящая пленка | ru_RU |
| dc.subject | Дисилицид титана | ru_RU |
| dc.subject | Фазовый состав | ru_RU |
| dc.subject | Рассеяние | ru_RU |
| dc.title | Распределение элементного и фазового состава по толщине токопроводящих пленок на основе дисилицида титана | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
