Show simple item record

Модернизация газовой системы планарного магнетрона

dc.contributor.authorКомаровская, В. М.
dc.contributor.authorТерещук, О. И.
dc.contributor.authorАртемчик, А. Г.
dc.coverage.spatialГомельru_RU
dc.date.accessioned2026-10-15T12:45:13Z
dc.date.available2026-10-15T12:45:13Z
dc.date.issued2026
dc.identifier.citationКомаровская, В. М. Модернизация газовой системы планарного магнетрона / В. М. Комаровская, О. И. Терещук, А. Г. Артемчик // Инновационное станкостроение, технологии и инструмент : материалы III Междунар. науч.-практ. конф., Гомель, 27–28 нояб. 2025 г. / Гомел. гос. техн. ун-т им. П. О. Сухого ; под общ. ред. М. И. Михайлова. – Гомель : ГГТУ им. П. О. Сухого, 2026. – С. 87–89.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.gstu.by/handle/220612/53155
dc.description.abstractПроведено физико-математическое моделирование распределения газового потока по объему вакуумной камеры при использовании линейного коллектора для подвода рабочего газа к стандартному планарному магнетрону, используя среду COMSOL Multiphysics.ru_RU
dc.description.abstractPhysical and mathematical modeling of gas flow distribution across the vacuum chamber volume was performed using a linear manifold to supply the working gas to a standard planar magnetron using the COMSOL Multiphysics environment.
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherГГТУ им. П.О. Сухогоru_RU
dc.subjectПокрытиеru_RU
dc.subjectМагнетронный методru_RU
dc.subjectВакуумная камераru_RU
dc.subjectПлотность газового потокаru_RU
dc.subjectCoatingru_RU
dc.subjectMagnetron methodru_RU
dc.subjectVacuum chamberru_RU
dc.subjectGas flow densityru_RU
dc.titleМодернизация газовой системы планарного магнетронаru_RU
dc.title.alternativeModernization of the gas system of a planar magnetronru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc621.793


Files in this item

Thumbnail
Name:
87-89.pdf
Size:
556.2Kb
Format:
PDF
Download

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record