Показать сокращенную информацию
Диэлектрические характеристики пленок оксида гафния-циркония, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления
| dc.contributor.advisor | Голосов, Д. А. | |
| dc.contributor.author | Александрович, П. А. | |
| dc.coverage.spatial | Гомель | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2025-06-12T06:01:14Z | |
| dc.date.available | 2025-06-12T06:01:14Z | |
| dc.date.issued | 2025 | |
| dc.identifier.citation | Александрович, П. А. Диэлектрические характеристики пленок оксида гафния-циркония, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления / П. А. Александрович ; науч. рук. Д. А. Голосов // II Международный молодёжный научно-культурный форум студентов, магистрантов, аспирантов и молодых ученых : сборник материалов, Гомель, 22-24 января 2025 г. / Гомел. гос. техн. ун-т имени П. О. Сухого [Республика Беларусь], Таизский университет [Республика Йемен], Научная организация исследований и инноваций [Республика Йемен] ; под общ. ред. А. А. Бойко. – Гомель : ГГТУ им. П. О. Сухого, 2025. – C. 185. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.gstu.by/handle/220612/41823 | |
| dc.description.abstract | Приводятся значения диэлектрических характеристик пленок состава Hf0,6Zr0,4Oy, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления из металлической составной мишени. Установлено, что данным методом возможно получать тонкопленочные слои легированного оксида гафния с тангенсом угла диэлектрических потерь 0,012 – 0,022, с токами утечки от (1,0 – 3,0)×10-3 А/м2 , пробивным напряжением (2,1 – 2,4)×108 В/м, диэлектрической проницаемостью 12,5 – 16 и шириной запрещенной зоны пленок от 5,85 – 5,87 эВ. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ГГТУ им. П.О. Сухого | ru_RU |
| dc.subject | Тонкие пленки | ru_RU |
| dc.subject | Реактивное магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.subject | Оксид гафния-циркония | ru_RU |
| dc.subject | Диэлектрические характеристики | ru_RU |
| dc.title | Диэлектрические характеристики пленок оксида гафния-циркония, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
