Подготовка экспериментальных структур в рамках исследования формирования токопроводящих плёнок на основе TiSi2 с использованием БТО
| dc.contributor.advisor | Семченко, А. В. | |
| dc.contributor.author | Демиденко, Н. Е. | |
| dc.coverage.spatial | Гомель | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2024-12-27T06:31:29Z | |
| dc.date.available | 2024-12-27T06:31:29Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.citation | Демиденко, Н. Е. Подготовка экспериментальных структур в рамках исследования формирования токопроводящих плёнок на основе TiSi2 с использованием БТО [Электронный ресурс] / А. В. Данильченко ; науч. рук. А. В. Семченко // МИТРо 2024 – Машиностроение. Инновации. Технологии. Робототехника : материалы докл. науч.-техн. конф. студентов, магистрантов и аспирантов, Гомель, 6 дек. 2024 г. / М-во образования Респ. Беларусь, Гомел. гос. техн. ун-т им. П. О. Сухого. – Гомель : ГГТУ им. П. О. Сухого, 2024. – С. 68–69. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.gstu.by/handle/220612/40200 | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ГГТУ им. П.О. Сухого | ru_RU |
| dc.subject | Микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | Токопроводящие пленки | ru_RU |
| dc.subject | Силициды титана | ru_RU |
| dc.subject | Быстрый термический отжиг | ru_RU |
| dc.subject | Модульные установки | ru_RU |
| dc.title | Подготовка экспериментальных структур в рамках исследования формирования токопроводящих плёнок на основе TiSi2 с использованием БТО | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 621.3.049.77 |
