Показать сокращенную информацию
Технологические процессы механической обработки пластин кремния и сапфира резанием при помощи резца из кубического нитрида бора
dc.contributor.advisor | Басинюк, В. Л. | |
dc.contributor.author | Тычинская, И. Д. | |
dc.coverage.spatial | Гомель | ru_RU |
dc.date.accessioned | 2024-07-10T12:37:14Z | |
dc.date.available | 2024-07-10T12:37:14Z | |
dc.date.issued | 2024 | |
dc.identifier.citation | Тычинская, И. Д. Технологические процессы механической обработки пластин кремния и сапфира резанием при помощи резца из кубического нитрида бора / И. Д. Тычинская, науч. рук. В. Л. Басинюк // I Международный молодёжный научно-культурный форум студентов, магистрантов, аспирантов и молодых ученых [Электронный ресурс] : сборник материалов, Гомель, 5-7 марта 2024 г. / М-во образования Респ. Беларусь ; Гомельский государственный технический университет имени П. О. Сухого ; Таизский университет ; Научная организация исследований и инноваций ; под общ. ред. А. А. Бойко. – Гомель : ГГТУ им. П. О. Сухого, 2024. – С. 111. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://elib.gstu.by/handle/220612/36889 | |
dc.description.abstract | В тезисе рассмотрены технологические процессы, обеспечивающие получение поверхности пластин кремния и сапфира с шероховатостью Ra=0.4 мкм и менее после механической обработки резанием с использованием резца из кубического нитрида бора. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | ГГТУ им. П.О. Сухого | ru_RU |
dc.subject | Лезвийная обработка | ru_RU |
dc.subject | Кубический нитрид бора | ru_RU |
dc.subject | Механическая обработка | ru_RU |
dc.subject | Кремний | ru_RU |
dc.subject | Сапфир | ru_RU |
dc.subject | Микроэлектроника | ru_RU |
dc.subject | Тхнологические процессы | ru_RU |
dc.subject | Шероховатость поверхности | ru_RU |
dc.title | Технологические процессы механической обработки пластин кремния и сапфира резанием при помощи резца из кубического нитрида бора | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |