Динамика лазерной эрозионной плазмы при формировании углеродных алмазоподобных покрытий

Abstract

Исследовано влияние параметров лазерного излучения на структуру и геометрию лазерного эрозионного факела, предложена полуэмпирическая модель указанного процесса. Изучены закономерности формирования алмазоподобных углеродных пленок методом лазерного распыления и ионно-лучевого синтеза графита. Установлены теоретически и подтверждены экспериментально режимы нанесения углеродных алмазоподобных пленок данным комбинированным методом. Получена приемлемая воспроизводимость результатов при максимальной скорости осаждения 30 Å/с.

The influence of laser radiation parameters on the structure and geometry of the laser erosion plume has been studied, and a semi-empirical model of this process has been proposed. The patterns of formation of diamond-like carbon films by laser sputtering and ion-beam synthesis of graphite have been studied. The modes of carbon diamond-like films application by this combined method were established theoretically and experimentally confirmed. Acceptable reproducibility of results was obtained at maximum deposition rate 30 Å/с.