Мишени для магнетронного распыления, формируемые золь-гель методом и параметры тонких плёнок, получаемых на их основе

Abstract

В настоящей работе показана возможность формирования с применением золь-гель метода мишеней состава SiO2:CuO. Изучены особенности получения мишеней на основе аэросила марки А-300 и их последующего функционального применения. Приводятся данные по морфологии структуры высококремнеземных пленок, сформированных магнетронным распылением таких мишеней на поверхности полированных кремниевых подложек.

This paper shows the possibility of forming SiO2:CuO targets using the sol-gel method. The features of obtaining targets based on A-300 aerosil and their subsequent functional application are studied. Data on the morphology of the structure of high-silica films formed by magnetron sputtering of such targets on the surface of polished silicon substrates are presented.