Мишени (MgO:CoO и ZnO:CoO), получаемые золь-гель методом для вакуумного напыления

Abstract

Изучено влияние технологических режимов синтеза порошков MgO:CoO и ZnO:CoO на структуру и валентное состояние ионов кобальта. Установлено, что размеры частиц ZnO:CoO находятся в пределах от 390 до 800 нм, а размеры частиц MgO:CoO – от 430 до 810 нм. Показано, что при формовании мишеней (методом прессования) из полученных порошков происходит трансформация валентности ионов кобальта с формированием Co2O3, По результатам EDX-анализа установлено, что распределение ионов кобальта в матрице оксидов цинка и магния имеет интегрально-однородный характер, а концентрация кобальта соответствует расчетной.