Показать сокращенную информацию

dc.contributor.advisorТелеш, Е. В.
dc.contributor.authorШевчик, Е. В.
dc.coverage.spatialГомельru_RU
dc.date.accessioned2024-05-23T10:34:52Z
dc.date.available2024-05-23T10:34:52Z
dc.date.issued2024
dc.identifier.citationШевчик, Е. В. Формирование фторуглеродных покрытий прямым осаждением из ионных пучков / Е. В. Шевчик ; науч. рук. Е. В. Телеш // E.R.A – Современная наука: электроника, робототехника, автоматизация : материалы I Междунар. науч.-техн. конф, студентов, аспирантов и молодых ученых, Гомель, 29 фев. 2024 г. / Гомел. гос. техн. ун-т им. П. О. Сухого [и др.] ; под общ. ред. А. А. Бойко. – Гомель : ГГТУ им. П. О. Сухого, 2024. – C. 110–112.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.gstu.by/handle/220612/35250
dc.description.abstractОбосновано применение торцевого холловского ускорителя для синтеза фторуглеродных покрытий. Установлено, что скорость нанесения покрытий увеличивается с ростом тока разряда и напряжения на аноде. Максимальная скорость нанесения составила 1,3 нм.с-1.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherГГТУ им. П.О. Сухогоru_RU
dc.subjectФторуглеродные покрытияru_RU
dc.subjectПрямое осаждениеru_RU
dc.subjectСкорость нанесенияru_RU
dc.titleФормирование фторуглеродных покрытий прямым осаждением из ионных пучковru_RU
dc.typeArticleru_RU


Файлы, содержащиеся в ресурсе

Thumbnail

Располагается в коллекциях:

Показать сокращенную информацию