Формирование фторуглеродных покрытий прямым осаждением из ионных пучков
| dc.contributor.advisor | Телеш, Е. В. | |
| dc.contributor.author | Шевчик, Е. В. | |
| dc.coverage.spatial | Гомель | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2024-05-23T10:34:52Z | |
| dc.date.available | 2024-05-23T10:34:52Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.citation | Шевчик, Е. В. Формирование фторуглеродных покрытий прямым осаждением из ионных пучков / Е. В. Шевчик ; науч. рук. Е. В. Телеш // E.R.A – Современная наука: электроника, робототехника, автоматизация : материалы I Междунар. науч.-техн. конф, студентов, аспирантов и молодых ученых, Гомель, 29 фев. 2024 г. / Гомел. гос. техн. ун-т им. П. О. Сухого [и др.] ; под общ. ред. А. А. Бойко. – Гомель : ГГТУ им. П. О. Сухого, 2024. – C. 110–112. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://elib.gstu.by/handle/220612/35250 | |
| dc.description.abstract | Обосновано применение торцевого холловского ускорителя для синтеза фторуглеродных покрытий. Установлено, что скорость нанесения покрытий увеличивается с ростом тока разряда и напряжения на аноде. Максимальная скорость нанесения составила 1,3 нм.с-1. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ГГТУ им. П.О. Сухого | ru_RU |
| dc.subject | Фторуглеродные покрытия | ru_RU |
| dc.subject | Прямое осаждение | ru_RU |
| dc.subject | Скорость нанесения | ru_RU |
| dc.title | Формирование фторуглеродных покрытий прямым осаждением из ионных пучков | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
