| dc.contributor.author | Бойко, А. А. | |
| dc.contributor.author | Дробышевская, Н. Е. | |
| dc.contributor.author | Белый, Д. И. | |
| dc.contributor.author | Павленок, А. В. | |
| dc.contributor.author | Подденежный, Е. Н. | |
| dc.date.accessioned | 2013-03-27T06:53:59Z | |
| dc.date.available | 2013-03-27T06:53:59Z | |
| dc.date.issued | 2012-09 | |
| dc.identifier.citation | Подденежный, Е. Н. Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением / Е. Н. Подденежный [и др.] // Вестник ГГТУ им. П. О. Сухого: научно-практический журнал. - 2012. - № 3. - С.62-67. | ru_RU |
| dc.identifier.issn | 1819-5245 | |
| dc.identifier.uri | http://elib.gstu.by/handle/220612/312 | |
| dc.description.abstract | Исследованы технологические этапы формирования мишеней MgF2 и СаF2 с помощью рентгенофазового анализа. Проведена оптимизация процесса формования пластинчатых и дисковых образцов мишеней, изготовленных из фторида кальция и магния с использованием метода полусухого прессования с последующей термообработкой заготовок при 450–750 °С. | |
| dc.description.abstract | Technological stages of the formation of MgF2 and CaF2 targets with the use of X-ray phase analysis are studied. Optimization of molding process of plane and disk fluoride sputtering target samples prepared from calcium and magnesium fluorides is provided with the use of semi-dry pressing process followed by blank thermo-treatment at 450–750 °C. | |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ГГТУ им. П.О.Сухого | ru_RU |
| dc.subject | Обработка конструкционных материалов | ru_RU |
| dc.title | Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 621.791.75 | |
