Термически стимулированное взаимодействие в контролируемой газовой среде микросфер восстановленного Geº и Agº с пластинами кремния для изучения процессов создания высокотемпературных контактных соединений изделий электронной техники

Abstract

Объект проводимых исследований: микрочастицы Ge0 на поверхности пластин кремния. Цель работы – отработка технологических режимов термически стимулированного восстановления ионов элементного оксида германия до состояния отдельно локализованных сферических микрочастиц.