Определение оптических свойств и лучевой прочности поляризационных покрытий на основе тугоплавких оксидов

Abstract

Установлены оптические свойства и лучевая прочность поляризационных покрытий на основе оксидов кремния и циркония. Разработана архитектура многослойных покрытий на основе чередующихся слоев ZrO2 и SiO2. Покрытия были нанесены на подложки различного типа методом электронно-лучевого испарения мишеней. С помощью метода спектрофотометрии определены спектры пропускания покрытий. В зависимости от архитектуры покрытий проведена оценка эффективности поляризационных свойств покрытий и лучевой прочности. Наиболее высокую лучевую стойкость показали 14-слойные покрытия ZrO2/SiO2 на подложке из кварца и стекла. Выявлено, что сформированные покрытия обладают высокой поляризационной способностью, что определяет их эффективное применение в оптических и лазерных системах с рабочей длиной волны от 450 до 640 нм.

The article considers optical properties and radial strength of polarization coatings based on silicon and zirconium oxides. The architecture of multilayer coatings based on alternating layers of ZrO2 and SiO2 has been developed. Coatings were applied to various types of substrates by electron beam evaporation of the targets. Using the spectrophotometry method, the transmission spectra of the coatings were determined. Depending on the architecture of the coatings, the efficiency of the polarization properties of the coatings and the radial strength were assessed. The highest radial resistance was shown by 14-layer ZrO2/SiO2 coatings on a quartz and glass substrate. It has been found that the formed coatings have a high polarization capacity, which determines their effective use in optical and laser systems with an operating wavelength of 450 to 640 nm.