Show simple item record

Концентрированные композиции на основе наноразмерных частиц диоксида кремния, полученные по ионообменной технологии

dc.contributor.authorКосенок, Я. А.
dc.contributor.authorГайшун, В. Е.
dc.contributor.authorВаськевич, В. В.
dc.contributor.authorТюленкова, О. И.
dc.contributor.authorМаевский, А. А.
dc.contributor.authorСавицкая, Т. А.
dc.contributor.authorКимленко, И. М.
dc.coverage.spatialГомельru_RU
dc.date.accessioned2022-10-04T14:11:12Z
dc.date.available2022-10-04T14:11:12Z
dc.date.issued2022
dc.identifier.citationКонцентрированные композиции на основе наноразмерных частиц диоксида кремния, полученные по ионообменной технологии / Я. А. Косенок [и др.] // Вестник ГГТУ им. П. О. Сухого : научно-практический журнал. — 2022. — № 3. — С. 55—61.ru_RU
dc.identifier.urihttps://elib.gstu.by/handle/220612/26674
dc.description.abstractРазработана лабораторная установка для получения концентрированных композиций на основе наноразмерных частиц диоксида кремния, в которой используется ионообменная технология. Исследованы структурно-реологические свойства полученных композиций. Установлены температурные зависимости плотности и рН композиций. Методом атомно-силовой микроскопии определены размеры частиц диоксида кремния в композициях. Проведены производственные испытания композиций в процессе химико- механической полировки пластин монокристаллического кремния.ru_RU
dc.description.abstractA laboratory plant has been developed for producing concentrated compositions based on nanoscale particles of silicon dioxide, which uses ion-exchange technology. Structural and rheological properties of the obtained com positions were investigated. Temperature dependencies of density and pH of compositions are established. The size of silicon dioxide particles in the compositions was determined by atomic force microscopy. Production tests of compositions in the process of chemical-mechanical polishing of single-crystal silicon plates were carried out.
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherГГТУ им. П.О. Сухогоru_RU
dc.subjectИонный обменru_RU
dc.subjectЗоль кремниевой кислотыru_RU
dc.subjectКоллоидная композицияru_RU
dc.subjectИонообменная смолаru_RU
dc.subjectАтомно-силовая микроскопияru_RU
dc.subjectРеологияru_RU
dc.subjectПолирующая суспензияru_RU
dc.subjectIon-exchange
dc.subjectSilica sol
dc.subjectColloidal composition
dc.subjectIon exchange resin
dc.subjectAtomic force microscopy
dc.subjectRheology
dc.subjectPolishing suspensio
dc.titleКонцентрированные композиции на основе наноразмерных частиц диоксида кремния, полученные по ионообменной технологииru_RU
dc.title.alternativeConcentrated Compositions Based on Nanosized Particles of Silicon Dioxide Obtained by Ion-Exchange Technologyru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc546.284-31:544.77


Files in this item

Thumbnail
Name:
55-61.pdf
Size:
1.129Mb
Format:
PDF
Download

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record