Концентрированные композиции на основе наноразмерных частиц диоксида кремния, полученные по ионообменной технологии

Abstract

Разработана лабораторная установка для получения концентрированных композиций на основе наноразмерных частиц диоксида кремния, в которой используется ионообменная технология. Исследованы структурно-реологические свойства полученных композиций. Установлены температурные зависимости плотности и рН композиций. Методом атомно-силовой микроскопии определены размеры частиц диоксида кремния в композициях. Проведены производственные испытания композиций в процессе химико- механической полировки пластин монокристаллического кремния.

A laboratory plant has been developed for producing concentrated compositions based on nanoscale particles of silicon dioxide, which uses ion-exchange technology. Structural and rheological properties of the obtained com positions were investigated. Temperature dependencies of density and pH of compositions are established. The size of silicon dioxide particles in the compositions was determined by atomic force microscopy. Production tests of compositions in the process of chemical-mechanical polishing of single-crystal silicon plates were carried out.