Микроэлектромеханическое электростатическое реле с несимметричными отказами

Abstract

Полезная модель относится к области автоматики и телемеханики и может быть использована как элементная база систем управления ответственными технологическими процессами (ОТП) на транспорте, в промышленности и энергетике.