Search
Now showing items 1-1 of 1
Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением
(ГГТУ им. П.О.Сухого, 2012-09)
Исследованы технологические этапы формирования мишеней MgF2 и СаF2 с помощью рентгенофазового анализа. Проведена оптимизация процесса формования пластинчатых и дисковых образцов мишеней, изготовленных из фторида кальция и ...