Показать сокращенную информацию
Композиционные керамические мишени для напыления наноструктурированных пленок, предназначенных для устройств магнитной памяти, сенсорики и термоэдс
dc.contributor.author | Подденежный, Е. Н. | |
dc.date.accessioned | 2016-06-27T07:27:16Z | |
dc.date.available | 2016-06-27T07:27:16Z | |
dc.date.issued | 2015 | |
dc.identifier.citation | 38 с. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://elib.gstu.by/handle/220612/14367 | |
dc.description | Отчет о НИР (заключительный). Руководитель темы Е. Н. Подденежный. | ru_RU |
dc.description.abstract | Цель работы: разработка составов и методов формирования композиционных керамических мишеней, предназначенных для напыления наноструктурированных пленок, устройств магнитной памяти, сенсорики, термоэдс. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | ГГТУ им. П.О.Сухого | ru_RU |
dc.title | Композиционные керамические мишени для напыления наноструктурированных пленок, предназначенных для устройств магнитной памяти, сенсорики и термоэдс | ru_RU |
dc.type | Other | ru_RU |
dc.identifier.udc | 621.791.75 | ru_RU |
dc.identifier.lbc | 34 | ru_RU |
dc.identifier.nmuk | ОНИР1662 | ru_RU |