Композиционные керамические мишени для напыления наноструктурированных пленок, предназначенных для устройств магнитной памяти, сенсорики и термоэдс

Abstract

Цель работы: разработка составов и методов формирования композиционных керамических мишеней, предназначенных для напыления наноструктурированных пленок, устройств магнитной памяти, сенсорики, термоэдс.