Поиск

Показано записей 1-1 из 1

Керамические фторидные мишени для магнетронного распыления, формируемые методом полусухого прессования с вакуумным уплотнением

Бойко, А. А.; Дробышевская, Н. Е.; Белый, Д. И.; Павленок, А. В.; Подденежный, Е. Н. (ГГТУ им. П.О.Сухого, 2012-09)

Исследованы технологические этапы формирования мишеней MgF2 и СаF2 с помощью рентгенофазового анализа. Проведена оптимизация процесса формования пластинчатых и дисковых образцов мишеней, изготовленных из фторида кальция и ...