Поиск
Показано записей 1-1 из 1
Структурно-фазовые характеристики пленок оксида ванадия
(ГГТУ им. П.О. Сухого, 2021)
Проведены исследования влияния параметров процесса нанесения и последующего отжига на структуру и фазовый состав пленок оксида ванадия (VOx). Пленки VOx наносились методом импульсного реактивного магнетронного распыления ...