Модернизация газовой системы планарного магнетрона

Abstract

Проведено физико-математическое моделирование распределения газового потока по объему вакуумной камеры при использовании линейного коллектора для подвода рабочего газа к стандартному планарному магнетрону, используя среду COMSOL Multiphysics.

Physical and mathematical modeling of gas flow distribution across the vacuum chamber volume was performed using a linear manifold to supply the working gas to a standard planar magnetron using the COMSOL Multiphysics environment.