Создание и исследование высокоэффективных конденсаторных структур на основе сегнетоэлектрических материалов различных составов для перспективных энергонезависимых запоминающих устройств

Abstract

Цель работы – установление зависимостей свойств тонких пленок и конденсаторных структур на их основе, синтезированных золь-гель методом, для последующего применения в перспективных энергонезависимых запоминающих устройствах с целью увеличения емкости, минимизации токов утечки, миниатюризации элементов микросхемы с одновременным увеличением надежности конденсаторных структур.