Синтез и применение композиционных таблетированных мишеней для нанесения тонкопленочных покрытий сложного состава и модификация их свойств термообработкой в контролируемой газовой среде
№ метод. ук.: ОНИР2609
УДК: 539.216.2+666.3:621.793.18
ББК: 37
Дата публикации
2026Библиографическое описание
Синтез и применение композиционных таблетированных мишеней для нанесения тонкопленочных покрытий сложного состава и модификация их свойств термообработкой в контролируемой газовой среде : отчет о НИР (заключ.) 64/21 / Гомел. гос. техн. ун-т им. П. О. Сухого ; рук. Бойко А. А. ; исполн. : Аль-Камали М. Ф. С. Х., Подденежный Е. Н., Соболев Е. В. – Гомель, 2025. – 139 с. – № ГР 20211346.