Электрические свойства аморфных углеродных пленок с графитоподобной структурой

Abstract

Исследуются электрические свойства аморфных углеродных пленок графитоподобной структуры толщиной 50 нм, полученных методом электронно-лучевого испарения на стеклянных подложках с никелевым слоем. Исследования проводились с использованием методов измерения вольт-амперных характеристик и измерений емкости в диапазоне напряжений от –3,5 до +3,5 В. Полученные результаты могут быть использованы при разработке электронных устройств на основе аморфных углеродных пленок.

This work investigates the electrical properties of amorphous carbon films with graphitelike structure having thickness of 50 nm, obtained by electron-beam evaporation onto glass substrates with nickel layers. The investigations were carried out using measurements of current-voltage characteristics and capacitance measurements in the voltage range from –3.5 to +3.5 V. The obtained results can be used in the development of electronic devices based on amorphous carbon films.