Конструкции, материалы и технологии тонкопленочных терморезистивных трубчатых СВЧ-калориметрических сенсоров (краткий обзор)

Abstract

Представлен краткий обзор конструкций, материалов и технологий тонкопленочных терморезистивных трубчатых калориметрических сенсоров, а также разработаны практические рекомендации по оптимизации технических решений для их проектирования и разработки.

This article presents a brief overview of the designs, materials, and technologies of thin-film thermoresistive tubular calorimetric sensors, along with practical recommendations for optimizing technical solutions for their design and development.