Vacuum Sputtering Thin Film Formation Based on  Inorganic Targets

dc.contributor.advisor	AL-Kamali, M. F. S. H.
dc.contributor.author	Saif, M. S. A.
dc.contributor.author	Al-Shameri, Sh. A. S. N.
dc.coverage.spatial	Гомель	ru_RU
dc.date.accessioned	2024-02-08T13:34:35Z
dc.date.available	2024-02-08T13:34:35Z
dc.date.issued	2023
dc.identifier.citation	Saif, M. S. A. Vacuum Sputtering Thin Film Formation Based on Inorganic Targets [Электронный ресурс] / M. S. A. Saif, Sh. A. S. N. Al-Shameri ; науч. рук. M. F. S. H. AL-Kamali // МИТРо 2023 – Машиностроение. Инновации. Технологии. Робототехника : тезисы докл. науч.-техн. конф. студентов и молодых ученых / Гомель, 6 декабря 2023 г. – Гомель : ГГТУ им. П. О. Сухого, 2023. – С. 152.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://elib.gstu.by/handle/220612/30100
dc.language.iso	en	ru_RU
dc.publisher	ГГТУ им. П.О. Сухого	ru_RU
dc.title	Vacuum Sputtering Thin Film Formation Based on Inorganic Targets	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU