Мишени SiO₂ : CuO (Cu°) для нанесения тонких пленок ионно-лучевым распылением, полученные золь-гель методом

Abstract

Проведены исследования особенностей структурообразования композиционных неорганических материалов, формируемых на основе диоксида кремния, а именно – пирогенного кремнезема марки А-380 (техни­ческое название – аэросил). Изучена возможность улучшения однородности распределения вводимых веществ-допантов по поверхности SiO₂-глобул, образующих каркас ксерогеля. Указанная цель достигалась за счет однородности распределения легирующих солей (на примере нитрата меди) еще на стадии формирования золя, который переводился в состояние ксерогеля в результате последовательной термообработки в контролируемой газовой среде (на воздухе или осушенном водороде). Полученные материалы затем размалывали до состояния высокодисперсных микропорошков. Из порошков формовали мишени в виде таблеток требуемого размера методом одноосного прес­сования. Конечная форма образцов представляла собой или микропорошки, или таблетированные заготовки, полу­ченные на их основе – диаметром порядка 12,5; 2,50; 30; 40 и 80 мм и фазового состава SiO₂:CuO и SiO₂:Cu°.

Studies of the structure formation features of composite inorganic materials formed on the basis of silicon dioxide, namely, pyrogenic silica of the A-380 brand (technical name – aerosil). The main purpose of the research was to study the possibility of improving the uniformity of the distribution of injected dopants on the surface of SiO₂ globules forming the xerogel framework. This goal was achieved due to the uniformity of the distribution of alloying salts (for example, copper nitrate) at the stage of sol formation, which was converted to the state of xerogel as a result of sequential heat treatment in a controlled gas environment (air or dried hydrogen). The final shape of the samples was either micro-powders or tablet-shaped blanks obtained on their basis – with a diameter of about 12.5; 2.50; 30; 40 and 80 mm and a phase composition of SiO₂ : CuO and SiO₂ : Cu°.