Мишени SiO₂ : CuO (Cu°) для нанесения тонких пленок ионно-лучевым распылением, полученные золь-гель методом

UDC: 666.9-127+537.533.35
Issue date
2022Citation
Аль-Камали, М. Ф. С. Х. Мишени SiO₂ : CuO (Cu°) для нанесения тонких пленок ионно-лучевым распылением, полученные золь-гель методом / М. Ф. С. Х. Аль-Камали, А. А. Бойко, Х. А. С. Аль-Шамири // Докл. Нац. акад. наук Беларуси. – 2022. – Т. 66, № 3. – С. 348–355.