Повышение чувствительности рабочего режима атомно-силового микроскопа путем улучшения функциональных характеристик пьезоэлектрических материалов, используемых при его изготовлении

Abstract

Диссертация на соискание академической степени магистра технических наук по специальности 1-53 80 01 "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами". Научный руководитель : к.т.н. , доцент Алексеенко А.А.