Композиционные керамические мишени для напыления наноструктурированных пленок, предназначенных для устройств магнитной памяти, сенсорики и термоэдс

dc.contributor.author	Подденежный, Е. Н.
dc.date.accessioned	2016-06-27T07:27:16Z
dc.date.available	2016-06-27T07:27:16Z
dc.date.issued	2015
dc.identifier.citation	38 с.	ru_RU
dc.identifier.uri	https://elib.gstu.by/handle/220612/14367
dc.description	Отчет о НИР (заключительный). Руководитель темы Е. Н. Подденежный.	ru_RU
dc.description.abstract	Цель работы: разработка составов и методов формирования композиционных керамических мишеней, предназначенных для напыления наноструктурированных пленок, устройств магнитной памяти, сенсорики, термоэдс.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	ГГТУ им. П.О.Сухого	ru_RU
dc.title	Композиционные керамические мишени для напыления наноструктурированных пленок, предназначенных для устройств магнитной памяти, сенсорики и термоэдс	ru_RU
dc.type	Other	ru_RU
dc.identifier.udc	621.791.75	ru_RU
dc.identifier.lbc	34	ru_RU
dc.identifier.nmuk	ОНИР1662	ru_RU