Композиционные керамические мишени для напыления наноструктурированных пленок, предназначенных для устройств магнитной памяти, сенсорики и термоэдс
![Thumbnail](/bitstream/handle/220612/14367/%d0%9f%d0%9e%d0%94%d0%94%d0%95%d0%9d%d0%95%d0%96%d0%9d%d0%ab%d0%99_38-14.pdf.jpg?sequence=7&isAllowed=y)
№ of methodological guidance: ОНИР1662
Author
UDC: 621.791.75
LBC: 34
Issue date
2015Citation
38 с.